按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。隨著(zhù)真空應用技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對其應用壓強范圍的要求越來(lái)越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿(mǎn)足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求，因此選用不同類(lèi)型真空泵組成的真空抽氣機組進(jìn)行抽氣的情況較多。為了方便起見(jiàn)，按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。隨著(zhù)真空應用技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對其應用壓強范圍的要求越來(lái)越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿(mǎn)足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求，因此選用不同類(lèi)型真空泵組成的真空抽氣機組進(jìn)行抽氣的情況較多。為了方便起見(jiàn)，將這些泵按其工作原理或其結構特點(diǎn)進(jìn)行一些具體的詳細的分類(lèi)是必要的?，F分述如下：一、氣體傳輸泵氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有兩種類(lèi)型：1、變容真空泵　　變容真空泵是利用泵腔容積的周期性變化來(lái)完成吸氣和排氣過(guò)程的一種真空泵。氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復式及旋轉式兩種：　?、磐鶑驼婵毡茫菏抢帽们粌然钊鐾鶑瓦\動(dòng)，將氣體吸入、壓縮并排出。因此，又稱(chēng)為活塞式真空泵?！　、菩D真空泵：是利用泵腔內活塞做旋轉運動(dòng)，將氣體吸入，壓縮并排出。旋轉真空泵又有如下幾種型式：①油封式真空泵：它是利用油類(lèi)密封各運動(dòng)部件之間的間隙，減少有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置，故又稱(chēng)氣鎮式真空泵。按其結構特點(diǎn)分為如下五種型式。a)旋片式真空泵：轉子以一定的偏心距裝在泵殼內并與泵殼內表面的固定面靠近，在轉子槽內裝有兩個(gè)（或兩個(gè)以上）旋片，當轉子旋轉時(shí)旋片能沿其徑向槽往復滑動(dòng)且與泵殼內壁始終接觸，此旋片隨轉子一起旋轉，可將泵腔分成幾個(gè)可變容積?！　）滑閥式真空泵：在偏心轉子外部裝有一個(gè)滑閥，轉子旋轉帶動(dòng)滑閥沿泵殼內壁滑動(dòng)和滾動(dòng)，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動(dòng)的滑閥導軌中滑動(dòng)，而把泵腔分成兩個(gè)可變容積?！　）定片式真空泵：在泵殼內裝有一個(gè)與泵內表面靠近的偏心轉子，泵殼上裝有一個(gè)始終與轉子表面接觸的徑向滑片，當轉子旋轉時(shí)，滑片能上、下滑動(dòng)將泵腔分成兩個(gè)可變容積?！　）余擺線(xiàn)式真空泵：在泵腔內偏心裝有一個(gè)型線(xiàn)為余擺線(xiàn)的轉子，它沿泵腔內壁轉動(dòng)并將泵腔分成兩個(gè)可變容積?！　）多室旋片式真空泵：在一個(gè)泵殼內并聯(lián)裝有由同一個(gè)電動(dòng)機驅動(dòng)的多個(gè)獨立工作室的旋片真空泵?！　、诟墒秸婵毡茫核且环N不用油類(lèi)（或液體）密封的變容真空泵?！　、垡涵h(huán)式真空泵：帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內，當它旋轉時(shí)，把液體（通常為水或油）拋向泵殼形成泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個(gè)小容積，故亦稱(chēng)旋轉變容真空泵?！　、芰_茨真空泵：泵內裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子，轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉變真空泵。機械增壓泵即為這種型式的真空泵。2、動(dòng)量傳輸泵這種泵是依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。具體可分為下述幾種類(lèi)型。⑴分子真空泵：它是利用高速旋轉的轉子把能量傳輸給氣體分子，使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式：①牽引分子泵：氣體分子與高速運動(dòng)的轉子相碰撞而獲得動(dòng)量，被送到出口，因此，是一種動(dòng)量傳輸泵。②渦輪分子泵：泵內裝有帶槽的圓盤(pán)或帶葉片的轉子，它在定子圓盤(pán)（或定片）間旋轉。轉子圓周的線(xiàn)速度很高。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。③復合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復合式分子真空泵。(2)噴射真空泵：它是利用文丘里（Venturi）效應的壓力降產(chǎn)生的高速射流把氣體輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵，適于在粘滯流和過(guò)渡流狀態(tài)下工作。這種泵又可詳細地分成以下幾種：①液體噴射真空泵：以液體（通常為水）為工作介質(zhì)的噴射真空泵。②氣體噴射真空泵：以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。③蒸氣噴射真空泵：以蒸氣（水、油或汞等蒸氣）作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。(3)擴散泵：以低壓高速蒸氣流（油或汞等蒸氣）作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸氣射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作?？煞譃椋孩僮?xún)艋瘮U散泵：泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專(zhuān)門(mén)的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵。②分餾式擴散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸氣壓強較低的工作液蒸氣進(jìn)入高真空工作的噴嘴，而蒸氣壓強較高的工作液蒸氣進(jìn)入低真空工作的噴嘴，它是一種多級油擴散泵。(4)擴散噴射泵：它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯(lián)組成的一種動(dòng)量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種型式?！　?5)離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用下，輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵。二、氣體捕集泵這種泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上，從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式?！　?、吸附泵　　它主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質(zhì)）的物理吸附作用來(lái)抽氣的一種捕集式真空泵?！　?、吸氣劑泵　　它是一種利用吸氣劑以化學(xué)結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種型式。3、吸氣劑離子泵它是使被電離的氣體通過(guò)電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。(1)蒸發(fā)離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實(shí)現抽氣的一種真空泵。(2)濺射離子泵：泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續濺射散出來(lái)的吸氣材料上，以實(shí)現抽氣目的的一種真空泵?！　?、低溫泵　　利用低溫表面捕集氣體的真空泵。