羅茨真空泵（簡(jiǎn)稱(chēng)羅茨泵）是一種旋轉式變容真空泵。它是由羅茨鼓風(fēng)機演變而來(lái)的。根據羅茨真空泵工作范圍的不同，又分為直排大氣的低真空羅茨泵；中真空羅茨泵（又稱(chēng)機械增壓泵）和高真空多級羅茨泵真空設備的一種。干式真空泵很早就出現了,但沒(méi)有明確的定義。就代替油封式機械泵來(lái)說(shuō),一般通用的說(shuō)法是: 能在大氣壓到10-2Pa 的壓力范圍內工作;在泵的抽氣流道(如泵腔)中,不能使用任何油類(lèi)和液體、排氣口與大氣相通,能連續向大氣中排氣的泵, 即稱(chēng)為干式真空泵(也稱(chēng)為無(wú)油真空泵)

干式真空泵很早就出現了,但沒(méi)有明確的定義。就代替油封式機械泵來(lái)說(shuō),一般通用的說(shuō)法是: 
能在大氣壓到10-2Pa 的壓力范圍內工作;在泵的抽氣流道(如泵腔)中,不能使用任何油類(lèi)和液體、
排氣口與大氣相通,能連續向大氣中排氣的泵, 即稱(chēng)為干式真空泵(也稱(chēng)為無(wú)油真空泵)