分子真空泵是在 1911 年由德國人蓋德 (w · Gaede) 首先發(fā)明的，并闡述了分子泵的抽氣理論，使機械真空泵在抽氣機理上有了新的突破。分子泵的抽氣機理與容積式機械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機理不同，分子泵是在分子流區域內靠高速運動(dòng)的剛體表面傳遞給氣體分子以動(dòng)量，使氣體分子在剛體表面的運動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng)，從而達到抽氣的目的。通常把用高速運動(dòng)的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運動(dòng)的現象稱(chēng)為分子牽引現象。因此，人們將蓋德發(fā)明的分子泵稱(chēng)為牽引分子泵。

1簡(jiǎn)介

　　分子真空泵是在 1911 年由德國人蓋德 (w · Gaede) 首先發(fā)明的，并闡述了分子泵的抽氣理論，使機械真空泵在抽氣機理上有了新的突破。分子泵的抽氣機理與容積式機械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機理不同，分子泵是在分子流區域內靠高速運動(dòng)的剛體表面傳遞給氣體分子以動(dòng)量，使氣體分子在剛體表面的運動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng)，從而達到抽氣的目的。通常把用高速運動(dòng)的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運動(dòng)的現象稱(chēng)為分子牽引現象。因此，人們將蓋德發(fā)明的分子泵稱(chēng)為牽引分子泵。

2結構特點(diǎn)

　　泵腔內有可旋轉的轉子，轉子的四周帶有溝槽并用擋板隔開(kāi)。每一個(gè)溝槽就相當于一個(gè)單級分子泵，后一級的入口與前一級的出口相連。轉子與泵殼之間有 0.01mm 的間隙。氣體分子由入口進(jìn)入泵腔，被轉子攜帶到出口側，經(jīng)排氣管道由前級泵抽走。牽引分子泵的優(yōu)點(diǎn)是起動(dòng)時(shí)間短，在分子流態(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適于抽除較重的氣體。但同于它自身的弱點(diǎn)：抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機械故障等，因此除特殊需要外，實(shí)際上很少應用。曾一度被結構和制造簡(jiǎn)單，抽速大的擴散泵所代替?！　【褪窃谟蛿U散泵開(kāi)始得到廣泛應用的時(shí)代，人們在牽引分子泵的結構改進(jìn)方面仍然做了許多工作。如 Holweck 、 Siehbahn 、 Gondet 等先后對 Gaede 型分子泵做了許多改進(jìn)，提出了很多不同結構的新型牽引分子泵。但由于其結構仍較復雜，抽速低，因此未能得到廣泛應用。

3原理

　　分子泵是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵牽引分子泵氣體分子與高速運動(dòng)的轉子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅送到泵的出口。