一、引言　　渦旋的概念相當久遠，20世紀初世界上就已經(jīng)有了渦旋技術(shù)的專(zhuān)利。但由于當時(shí)技術(shù)水平的限制，渦旋機構制造不出來(lái)，渦旋的概念也就被淡忘了。1973年渦旋機構被重新提起并制造出第一臺模型機構，使這項技術(shù)實(shí)際應用成為可能。渦旋機構的可*性高、運行平穩、噪音極低、節省能源等潛力和巨大優(yōu)勢馬上引起了冰箱行業(yè)的重視和迫切需求，大受行業(yè)領(lǐng)先者青睞，迅速被投入工業(yè)化應用。Trance、Hitachi、Copland等著(zhù)名公司的渦旋壓縮機技術(shù)與產(chǎn)品引領(lǐng)了世界渦旋技術(shù)實(shí)用化的浪潮，帶動(dòng)了如冰箱、空調等諸多行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)品的更新?lián)Q代?！　〗裉鞙u旋技術(shù)已經(jīng)由初期的應用在壓縮機行業(yè)推廣到真空泵制造業(yè)，實(shí)現了全無(wú)油、運行更平穩、噪音更低、更加節省能源的渦旋清潔真空獲得技術(shù)的實(shí)用化。人們應用渦旋概念與原理制造出了對真空應用儀器設備和環(huán)境沒(méi)有污染,并且抽速、壽命、能耗等指標均優(yōu)于普通油泵的單級、雙級無(wú)油渦旋真空泵系列產(chǎn)品?！　∩蟼€(gè)世紀90年代初，世界上首臺渦旋真空泵推向市場(chǎng)，渦旋技術(shù)由此開(kāi)始作為一種新型真空獲得技術(shù)在世界范圍內被推廣應用。到目前為止，世界上渦旋真空泵的生產(chǎn)廠(chǎng)家集中在美國、日本和歐洲，以日本的Anestta、美國的Varian、德國的Busch等為代表。產(chǎn)品包括了自0.25L/S到10L/S系列產(chǎn)品，有些15L/S或更大抽氣量的產(chǎn)品也在試驗階段?！　《?、無(wú)油渦旋真空泵的特點(diǎn)與應用領(lǐng)域　　清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境.自能夠創(chuàng )造真空環(huán)境開(kāi)始,人們就試圖采用不同手段達到清潔真空的效果.時(shí)至今日,清潔真空獲得設備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品.在現有的無(wú)油真空泵當中,無(wú)油渦旋真空泵與其他種類(lèi)的無(wú)油真空泵相比具有下述特點(diǎn):　?、?無(wú)油，無(wú)摩擦——真空腔內無(wú)油，非接觸，無(wú)磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；　?、?抽氣量大——雙渦旋盤(pán)，結構與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節省能源；　?、?抽氣效率高——帶有3-4個(gè)抽氣單元，壓差??；大氣與真空之間由O型圈密封，泄漏低；　?、?非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低，振動(dòng)??；　?、?結構簡(jiǎn)單緊湊，相同尺寸下，運動(dòng)半徑小，運行平穩；　?、?體積小，維修方便，維護費用低；　?、?采用空氣冷卻，無(wú)需水冷?！　∧壳盁o(wú)油渦旋真空泵的應用領(lǐng)域為:　?、?半導體行業(yè)——薄膜制備設備、半導體器件封裝設備；　?、?科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線(xiàn)、電子顯微鏡、分析測試儀器；　?、?機械設備行業(yè)——材料制備設備、真空檢測、材料提純設備；　?、?化學(xué)工業(yè)；　?、荩t療設備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備；　?、蓿b行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設備?！　∪?、無(wú)油渦旋真空泵工作原理、技術(shù)指標以及與普通油泵的對比　　無(wú)油渦旋真空泵主要由5個(gè)部件組成：　?、伲畡?dòng)靜渦旋盤(pán)付與基座；　?、冢S；　?、郏芊鈮|；　?、埽雷赞D機構；　?、荩姍C?！　o(wú)油渦旋真空泵的渦旋盤(pán)就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)線(xiàn)螺旋形成的一個(gè)渦旋型盤(pán)狀結構體。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)相互交*組裝在一起，兩者之間由防自轉機構保證180。相位差，這樣結合組成的一對渦旋盤(pán)付構成了無(wú)油渦旋真空泵的基本抽氣機構。靜渦旋盤(pán)與動(dòng)渦旋盤(pán)彼此之間在幾條直線(xiàn)(即橫截面渦旋線(xiàn)上的幾個(gè)點(diǎn))上接觸形成對稱(chēng)的幾對月牙腔，動(dòng)渦旋盤(pán)在曲軸的驅動(dòng)下繞靜渦旋盤(pán)的渦旋體中心運動(dòng)，使靜渦旋盤(pán)與動(dòng)渦旋盤(pán)的接觸點(diǎn)沿渦旋曲面移動(dòng)實(shí)現吸氣、壓縮與排氣。例如在雙級無(wú)油渦旋真空泵中，有兩個(gè)方向對應的靜渦旋盤(pán)，一個(gè)位于兩個(gè)渦旋盤(pán)之間的動(dòng)渦旋盤(pán)。動(dòng)、靜渦旋盤(pán)相對運動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸人、排氣口排出，完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)。曲軸每轉一轉，就有一組新的月牙腔形成，所以無(wú)油渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)以近1500轉/分的頻率被連續重復,對被抽氣體形成包容和強制輸送?！　”娝苤?，無(wú)油渦旋真空泵(Oilfreescrloovacuumpump)與普通油真空泵相比具有顯著(zhù)的特點(diǎn)。下面以普通旋片真空泵為例，說(shuō)明其差別：表1無(wú)油渦旋真空泵與普通直聯(lián)式旋片真空泵技術(shù)指標的對比技術(shù)指標旋片式油真空泵渦旋無(wú)油真空泵抽速（1/s）2.0，4.0，8.02.0，4.4，8.7極限真空度（pa）0.61.0使用壽命(h)4000040000大修間隔（h）80008000冷卻介質(zhì)油空氣噪聲（dB）7560質(zhì)量（kg）7041電機相數3/11電壓(V)220/380220功率(KW)1.10.6轉數(r/min)14001437　　四、無(wú)油渦旋真空泵的優(yōu)點(diǎn)及其能給用戶(hù)解決的問(wèn)題　　1．無(wú)油渦旋真空泵性能優(yōu)越　　無(wú)油渦旋真空泵的主要優(yōu)點(diǎn)主要包括：　?、?密封性良好,沒(méi)有向機械泵那樣直接連接吸、排氣腔的泄漏通道,容易密封,容易達到較高的真空度?！　、?回轉半徑小，動(dòng)靜渦旋盤(pán)相對滑動(dòng)速度僅為旋片真空泵的1/7左右，動(dòng)靜渦旋盤(pán)之間的動(dòng)密封相對容易，有利于延長(cháng)泵的使用壽命?！　、蹓嚎s進(jìn)程必較緩慢，有2個(gè)或者3個(gè)壓縮過(guò)程同時(shí)進(jìn)行，壓縮腔相對曲軸對稱(chēng)，這樣泵的運轉過(guò)程平穩、驅動(dòng)力矩和氣體沖擊波動(dòng)小，使泵的噪音和振動(dòng)降低?！　】偠灾?，無(wú)油渦旋真空泵結構簡(jiǎn)單、具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內有穩定的抽速，工作壓力范圍寬；動(dòng)靜渦旋盤(pán)之間間隙小、泄漏少，由于壓縮腔容積的變化是連續的，因而驅動(dòng)扭矩變化小，功率變化小,振動(dòng)噪聲低，可*性高。這是其它類(lèi)型的干式真空泵所不具備的?！　　　　　?．無(wú)油渦旋真空泵解決了污染與振動(dòng)等基礎、共性問(wèn)題　　由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動(dòng)等問(wèn)題給用戶(hù)造成不良影響，如生物制品行業(yè)與半導體行業(yè)的油蒸汽污染與工藝系統返油問(wèn)題。真空鍍膜設備的鍍膜工藝中，在20～40Pa真空條件下鍍膜時(shí)，如果應用普通旋片機械真空泵作為前級真空泵將對鍍膜工藝設備造成污染，影響成膜質(zhì)量。半導體晶片制造工藝當中使用油泵與使用于泵相比，成品率存在明顯的差距，并且排出的油霧蒸汽對環(huán)境也有污染.科學(xué)儀器行業(yè)尤其是在分析測試儀器行業(yè)，采用油泵對測試結果將造成不良影響。大型同步輻射光束線(xiàn)上采用無(wú)油渦旋真空泵作為前級真空泵的作用也相當明顯。另外無(wú)油渦旋真空泵消除了普通油泵的漏油給用戶(hù)帶來(lái)的環(huán)境污染與煩惱?，F有無(wú)油渦旋真空泵用戶(hù)的使用情況也證明了這種泵的優(yōu)越性和可*性?！　?.無(wú)油渦旋真空泵使系統制造與運行成本降低　　為防止普通旋片油真空泵對真空系統的返油污染,需要在抽氣系統中加冷阱捕獲油分子；系統運行過(guò)程當中還需要定期清洗除油；有的需要定期更換真空泵油.采用無(wú)油渦旋真空泵第一部需要加冷阱之類(lèi)捕油機構、第二不需要更換真空泵油、第三振動(dòng)更小、運行更平穩、第四能耗降低、第五重量更輕、第六突破了油泵使用范圍的限制。這些優(yōu)點(diǎn)使無(wú)油渦旋真空泵成為普通旋片油真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品?！　∥?、無(wú)油渦旋真空泵的結構　　無(wú)油渦旋真空泵主要部件為渦旋盤(pán)付曲軸和密封墊.該泵的抽氣——壓縮——排氣機理是在動(dòng)、靜渦旋盤(pán)相互不接觸的情況下，依*動(dòng)、靜渦旋盤(pán)相對轉動(dòng)形成吸氣腔和壓縮腔，將被抽氣體排出，連續完成吸氣、壓縮和排氣過(guò)程。在充分考慮抽氣過(guò)程中發(fā)生熱交換的情況下，盡量減少動(dòng)、靜渦盤(pán)問(wèn)的徑向和軸向間隙,可以提高抽速和極限真空度?！　♂槍o(wú)油渦旋真空泵結構上存在著(zhù)的運轉過(guò)程中水分和雜質(zhì)易積聚和軸承易磨損的弱點(diǎn),加氣鎮閥是必要的選擇?！　〗Y構上的改進(jìn)主要有兩點(diǎn)：　?、伲託怄傞y使極限真空度保持要求值——進(jìn)氣壓力O.03MPa(G)以下，流量lOL/min以下?！　、冢S承端面加雙側密封圈密封，有效防止軸承磨損?！　≡跓o(wú)油渦旋真空泵的設計過(guò)程中，需要解決的問(wèn)題包括：　?、伲疁u旋泵的CAD設計一一型線(xiàn)方程的確定及修正，初始角修正，運動(dòng)模擬；　?、冢疁u旋盤(pán)的加工一一加工精度、加工工藝間隙的大?。撼樗?、極限真空度；　?、郏疁u旋盤(pán)的表面處理一一耐腐蝕、潤滑、硬度、處理工藝、表面均勻性；　?、埽芊鈮|材料的選擇與加工——密封墊要求有彈性、耐磨、不產(chǎn)生微粒?！　×?、無(wú)油渦旋真空泵的使用　　1．安全注意事項　　使用前與使用過(guò)程中應當注意的安全事項包括：　　無(wú)油渦旋真空泵的抽氣范圍(用于抽潔凈氣體。不能抽有毒、易燃、易爆、腐蝕性氣體、化學(xué)品、溶劑及粉末等)?！　“惭b要求(安裝在沒(méi)有易燃、易爆物品、避雨、無(wú)蒸汽的安全場(chǎng)所)?！　“惭b在水平面上(傾角小于5。)。周?chē)鸁o(wú)灰塵、無(wú)鐵屑、石塊或木塊?！　∫欢ㄒ踩拥?。一定要安裝緊急制動(dòng)開(kāi)關(guān)。接線(xiàn)要由合格的電工完成)?！　≡诤线m的工作環(huán)境溫度(5～40℃)內工作?！　≌_安裝使用(接線(xiàn)或檢查時(shí)必須切斷電源，不能將手指或其他物品放人泵的氣孔或冷卻翅片的間隙中)?！　≌_維修檢驗(根據本說(shuō)明書(shū)要求定期檢查，泵徹底冷卻后再進(jìn)行維護與檢驗工作；由專(zhuān)業(yè)人士維修，不能改造此泵)?！　?．安裝方法　　安裝前要認真檢查下述各項：　?、伲畽z查確認包裝放置方向正確?！　、冢畽z查確認產(chǎn)品為訂購的型號?！　、郏畽z查確認無(wú)破損?！　、埽眠\轉時(shí)拆掉進(jìn)氣口與排氣口法蘭。如果連續帶法蘭工作，會(huì )對泵引起損害?！　“惭b時(shí)應注意：　?、伲惭b在避雨、無(wú)蒸汽的場(chǎng)所，避免電擊危險；　?、冢惭b在通風(fēng)良好、隔絕爆炸物、無(wú)腐蝕性和易燃氣體及其他有關(guān)物體處?！　、郏惭b在堅實(shí)、平整面上(傾角小于5。)，陽(yáng)光不能直射處?！　、埽谝幎ōh(huán)境溫度范圍(5—40℃)內工作?！　∫谡婵帐液瓦M(jìn)氣口連線(xiàn)上安裝截止閥和排氣閥。這些閥用于開(kāi)關(guān)無(wú)油渦旋真空泵時(shí)阻止泵中積存的碎屑被抽回真空室中。開(kāi)關(guān)泵時(shí)要先關(guān)閉截止閥。連接管路一定要潔凈。建議使用軟管連接，這樣泵的振動(dòng)不會(huì )傳到真空室。連接排氣管時(shí)要注意管的長(cháng)度和尺寸。建議排氣管長(cháng)不超過(guò)15米，內徑25mm。注意泵工作時(shí)排氣管不能堵塞。注意排氣壓力不能超過(guò)大氣壓?！　∵B線(xiàn)時(shí)必須首先斷開(kāi)電源，由合格的電工連線(xiàn)。泵必須提供外部保護，如8L/s泵最小電路容量為單相、18A，最大分路電流斷路器容量為15A。一定要安裝推薦容量的電流斷路器以避免電機燒毀，電線(xiàn)和地線(xiàn)截面積一定要超過(guò)2mm2。否則會(huì )引起損害或火災。與電機接線(xiàn)端子連接的電線(xiàn)要配適當的圓圈形接頭。一定要接地。否則可能引起電擊或人身傷害。交貨時(shí)連線(xiàn)電壓為單相，220伏?！　?．無(wú)油渦旋真空泵的操作——抽干燥氣體　　無(wú)油渦旋真空泵在初次啟動(dòng)或者長(cháng)期不用時(shí)達到極限真空需要較長(cháng)時(shí)間。應在關(guān)閉進(jìn)氣閥狀態(tài)下連續抽氣6—8小時(shí)，每小時(shí)打開(kāi)進(jìn)氣閥2～3次，每次3～5秒。如果泵抽水或者高濕度氣體(相對濕度>；60％)，水汽可能殘留在泵中降低泵的性能。這時(shí)關(guān)閉泵與系統之間的截止閥，啟動(dòng)泵，運轉時(shí)打開(kāi)進(jìn)氣閥進(jìn)大氣幾次，每次3—5秒，可以將泵中的水汽排出。泵工作時(shí)要拆去進(jìn)氣口法蘭和排氣口法蘭，否則會(huì )對泵有損害。泵啟動(dòng)和關(guān)閉時(shí)要關(guān)閉截止閥，否則開(kāi)關(guān)泵時(shí)泵中積存的碎屑會(huì )被抽回真空室中。重新啟動(dòng)泵時(shí)，啟動(dòng)前要開(kāi)啟進(jìn)氣閥進(jìn)大氣3—5秒，否則會(huì )造成泵中溫度不平衡，導致泵失效?！　o(wú)油渦旋真空泵的啟動(dòng)步驟包括：　?、伲P(guān)閉截止閥(以免泵中積存的碎屑會(huì )被抽回真空室中(帶漏氣閥開(kāi)寸耍開(kāi)啟漏氣閥))；　?、冢蜷_(kāi)泵開(kāi)關(guān)；　?、郏_(kāi)啟截止閥(檢查確認真空泵已開(kāi)啟，使用漏氣閥時(shí)要關(guān)閉漏氣閥，抽真空室)?！　⊥１貌襟E包括：　?、伲P(guān)閉截止閥(避免泵中積存的碎屑被抽回真空室)；　?、冢P(guān)閉泵開(kāi)關(guān)?！　?．無(wú)油渦旋真空泵的操作——抽水汽　　(1)抽水汽注意事項　　無(wú)油渦旋真空泵的維護標準是以抽潔凈氣體為基礎制定的，抽水汽標準不同。因此要注意下述各點(diǎn)：　?、伲樗羝玫木S護時(shí)間間隔必須縮短，因為水汽的溫度、抽除量、抽除頻率和水汽中物質(zhì)成份對泵的工作都有影響?！　、?抽水蒸汽時(shí)，要在規定溫度下工作，進(jìn)氣溫度必須低于50℃。當被抽氣體溫度高于50℃時(shí)，應當在無(wú)油渦旋真空泵與真空室之間的連接管路上安裝冷卻器或冷阱，以降低進(jìn)氣溫度，使之低于50。進(jìn)氣溫度高于50℃會(huì )對無(wú)油渦旋真空泵造成損害?！　、郏樗麜r(shí)要加氣鎮閥，無(wú)油渦旋真空泵抽水蒸汽會(huì )導致水汽在泵內凝結。凝結的水汽會(huì )引起泵極限真空度降低，或者對泵造成損害。氣鎮閥不僅能抽水汽，還能維持極限真空?！　?2)氣鎮閥的使用注意事項　　所謂氣鎮閥及其作用概念非常簡(jiǎn)單，就是在容積式真空泵的壓縮室上開(kāi)一小孔，裝上一個(gè)調節閥。打開(kāi)此調節閥啟動(dòng)無(wú)油渦旋真空泵，當動(dòng)渦旋盤(pán)轉動(dòng)某一位置時(shí)，空氣就通過(guò)小孔摻人壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分水蒸氣不至于凝結，和摻入的氣體一起被排出泵外。這樣就達到了抽水蒸汽的目的。而這個(gè)調節閥就是氣鎮閥。氣鎮閥的使用注意事項包括：　?、俪樗麜r(shí)，必須開(kāi)啟氣鎮閥抽氣。如果氣鎮閥關(guān)閉抽氣，水汽會(huì )在泵內積結，對泵造成損害?！　、冢樗?，必須在開(kāi)啟氣鎮閥狀態(tài)下再抽氣超過(guò)l小時(shí)，如果抽水汽后立即關(guān)閉氣鎮閥，水汽會(huì )在泵內積結，對泵造成損害?！　、郏斀o氣鎮閥口充氮氣或干燥大氣時(shí)，要將壓力控制在大氣壓內，流量小于lONL/min,氣壓高會(huì )對泵造成損害?！　、埽敱怀檎婵帐覂葷穸雀哂?0％時(shí)，—定要開(kāi)啟氣鎮閥?！　、荩欢ㄒ诒瞄_(kāi)啟前、關(guān)閉后，開(kāi)啟和關(guān)閉氣鎮閥，千萬(wàn)不能在泵工作過(guò)程中關(guān)閉氣鎮閥。泵工作時(shí)改變氣鎮閥工作狀態(tài)(開(kāi)啟或關(guān)閉)會(huì )使泵損壞，造成人身傷害?！　?3)抽水汽時(shí)泵的操作　　抽水汽時(shí)，泵的啟動(dòng)步驟包括：　?、伲P(guān)閉截止閥(以免開(kāi)關(guān)泵時(shí)泵中積存的碎屑會(huì )被抽回真空室中(帶漏氣閥時(shí)要開(kāi)啟漏氣閥))；　?、冢蜷_(kāi)氣鎮閥(拆下絲堵，換上氣體過(guò)濾器即可)；　?、鄞蜷_(kāi)泵開(kāi)關(guān)；　?、埽_(kāi)啟截止閥(檢查確認真空泵已開(kāi)啟，使用漏氣閥時(shí)要關(guān)閉漏氣閥，抽真空室)?！　〕樗麜r(shí)，停泵步驟包括：　?、伲P(guān)閉截止閥(避免泵中積存的碎屑被抽回真空室；　?、冢P(guān)閉泵開(kāi)關(guān)；　?、郏P(guān)閉氣鎮閥(結束氣鎮閥工作時(shí)，拆下氣體過(guò)濾器，用扳手輕輕擰上絲堵)?！　?．無(wú)油渦旋真空泵的檢查與維護　　(1)檢查與維護注意事項　?、伲疅o(wú)油渦旋真空泵為防止碎屑在泵中沉積，每天抽大氣幾次，每次3～5秒?！　、冢⒁飧邷?，在泵足夠冷卻后，再進(jìn)行檢查與維護。停泵后立即維修可能引起燒傷?！　、郏畽z查與維護之前一定要切斷電源。否則可能引起電擊或被旋轉物傷害?！　、埽绻惭b與工作條件差、工作環(huán)境溫度超過(guò)規定，請縮短維護間隔。環(huán)境溫度是泵失效的主要影響因。標準維護間隔是以環(huán)境溫度5～40℃，年平均溫度25℃為基礎制定的?！　?2)檢查與維護內容要點(diǎn)部件檢查點(diǎn)與注意點(diǎn)檢查時(shí)間間隔軸承異常噪聲（聽(tīng)）每天檢查新更換軸承8000小時(shí)密封件如密封墊、O型圈新更新密封件8000小時(shí)　　6．故障診斷與排除　　幾年來(lái)用戶(hù)在無(wú)油渦旋真空泵的使用過(guò)程中，陸續發(fā)現了各種問(wèn)題，也總結了問(wèn)題解決的方法。歸納起來(lái)，不外乎下述各種。如果出現故障，可以參照下表排除之。如果自己不能解決問(wèn)題，可以聯(lián)系賣(mài)泵的經(jīng)銷(xiāo)商和生產(chǎn)單位。同時(shí)筆者歡迎用戶(hù)提出使用中的問(wèn)題，以利于無(wú)油渦旋真空泵的進(jìn)一步改進(jìn)?！　∑?、結束語(yǔ)　　國內以半導體、電子工業(yè)為代表的制造工藝當中和科學(xué)研究與分析測試行業(yè)迫切需要無(wú)油污染的清潔真空環(huán)境，但是清潔真空獲得設備如冷凝泵、柱賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等目前都沒(méi)有形成可*先進(jìn)的批量國產(chǎn)產(chǎn)品。進(jìn)口無(wú)油渦旋真空泵作為一種新產(chǎn)品，由于本文前述的價(jià)格、市場(chǎng)的開(kāi)拓和用戶(hù)的認識程度等原因，沒(méi)有形成良性循環(huán)。這樣，一方面是迫切的市場(chǎng)需求，另一方面從價(jià)格與技術(shù)雙方面看沒(méi)有合適的產(chǎn)品，造成了極大的市場(chǎng)缺口?！　『翢o(wú)疑問(wèn)價(jià)格適中、性能可*的無(wú)油渦旋真空泵將成為適合中國市場(chǎng)要求產(chǎn)品的主流,大力發(fā)展渦旋無(wú)油真空泵勢在必行。研制符合中國市場(chǎng)要求的渦旋類(lèi)及其它無(wú)油真空泵系列產(chǎn)品及其檢測技術(shù)手段也成為中國真空獲得行業(yè)進(jìn)一步發(fā)展的一個(gè)契機。無(wú)油渦旋真空泵故障診斷表現象原因解決方法泵停轉開(kāi)關(guān)異常檢修邊線(xiàn)松脫、短線(xiàn)檢修電壓下降檢查電纜長(cháng)度和尺寸電機異常檢修泵異常檢修極限真空度上不去法蘭口被刮傷與當地經(jīng)銷(xiāo)商聯(lián)系修理管路被堵加熱除氣或更換管路管路漏氣檢查管路連緊抽入水或者溶劑將進(jìn)氣口通大氣抽幾分鐘，然后關(guān)閉進(jìn)氣口抽約24小時(shí)O型圈破損更換氣鎮閥堵賽清洗氣體過(guò)濾器或更換之異常噪聲、振動(dòng)連接件松脫緊定連接泵未放平調平基礎異物進(jìn)入泵中檢修排氣閥失效檢修電機失效檢修軸承損壞與當地經(jīng)銷(xiāo)商聯(lián)系換軸承抽氣口被堵與當地經(jīng)銷(xiāo)商聯(lián)系修理　　為解決我國科學(xué)研究和新材料、半導體等行業(yè)發(fā)展面臨的技術(shù)手段存在的基礎、共性問(wèn)題，近年來(lái)已經(jīng)不斷有業(yè)內專(zhuān)家向國內介紹渦旋無(wú)油真空泵技術(shù)及其發(fā)展現狀，國外渦旋無(wú)油真空泵生產(chǎn)廠(chǎng)家與代理對中國市場(chǎng)的開(kāi)發(fā)使其在中國市場(chǎng)的銷(xiāo)量在逐年增長(cháng)。國內真空行業(yè)相關(guān)企業(yè)也開(kāi)展了基礎、應用研究及小規模試制無(wú)油渦旋真空泵生產(chǎn)等不同階段的探索，只是由于技術(shù)基礎、激勵機制、研發(fā)手段、資金投入的限制，研發(fā)工作進(jìn)展不是非?？?。產(chǎn)品質(zhì)量、穩定可*性、以及技術(shù)推廣與市場(chǎng)開(kāi)拓規劃、原則、手段等也是問(wèn)題。因此無(wú)油渦旋真空泵系列產(chǎn)品下一步產(chǎn)業(yè)化技術(shù)研發(fā)與市場(chǎng)開(kāi)發(fā)是企業(yè)必須解決的兩大問(wèn)題。隨著(zhù)研發(fā)手段、資金投入、市場(chǎng)開(kāi)拓問(wèn)題的解決，無(wú)油渦旋真空泵將會(huì )打開(kāi)市場(chǎng)，從而提高整個(gè)真空獲得行業(yè)的技術(shù)水平。成功的無(wú)油渦旋真空泵系列產(chǎn)品研發(fā)與市場(chǎng)開(kāi)發(fā)模式也將為我國其他清潔真空獲得設備如冷凝泵、柱塞泵、爪式泵以及隔膜泵等提供有效的借鑒。