1引言渦旋的概念相當久遠,20世紀初世界上就已經(jīng)有了渦旋技術(shù)的專(zhuān)利。但由于當時(shí)技術(shù)水平的限制,渦旋機構制造不出來(lái),渦旋的概念也就被淡忘了。1973年渦旋機構被重新提起并制造出第一臺模型機構,使這項技術(shù)實(shí)際應用成為可能。渦旋機構的可靠性高、運行平穩、噪音極低、節省能源等潛力和巨大優(yōu)勢馬上引起了冰箱行業(yè)的重視和迫切需求,大受行業(yè)領(lǐng)先者青睞,迅速被投入工業(yè)化應用。trance、hitachi、copland等著(zhù)名公司的渦旋壓縮機技術(shù)與產(chǎn)品弓領(lǐng)了世界渦旋技術(shù)實(shí)用化的浪潮,帶動(dòng)了如冰箱、空調等諸多行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)品的更新?lián)Q代。今天渦旋技術(shù)已經(jīng)由初期的應用在壓縮機行業(yè)推廣到真空泵制造業(yè),實(shí)現了全無(wú)油、運行更平穩、噪音更低、更加節省能源的渦旋清潔真空獲得技術(shù)的實(shí)用化。人們應用渦旋概念與原理制造出了對真空應用儀器設備和環(huán)境沒(méi)有污染,并且抽速、壽命、能耗等指標均優(yōu)于普通油泵的單級、雙級渦旋無(wú)油真空泵系列產(chǎn)品。上個(gè)世紀90年代初,世界上首臺渦旋真空泵推向市場(chǎng),渦旋技術(shù)由此開(kāi)始作為一種新型真空獲得技術(shù)在世界范圍內被推廣應用。到目前為止,世界上渦旋真空泵的生產(chǎn)廠(chǎng)家集中在美國、日本和歐洲,以日本的anest1wata、美國的varian、德國的bush等為代表。產(chǎn)品包括了自0.25l/s-1ol/s系列產(chǎn)品,有些15l/s或更大抽氣量的產(chǎn)品也在試驗階段。2渦旋無(wú)油真空泵(0-ifreescrollvacuumpump)的特點(diǎn)與應用領(lǐng)域清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境。自能夠創(chuàng )造真空環(huán)境開(kāi)始,人們就試圖采用不同手段達到清潔真空的效果。時(shí)至今日,清潔真空獲得設備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、柱賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品。在現有的無(wú)油真空泵當中,渦旋無(wú)油真空泵與其他種類(lèi)的無(wú)油真空泵相比具有運行平穩、噪音低、節省能源、重量輕、體積小的特點(diǎn)并已經(jīng)被廣泛應用到下述科學(xué)研究與生產(chǎn)領(lǐng)域:①半導體行業(yè)――薄膜制備設備、半導體器件封裝設備;②真空冶金行業(yè)――真空爐、納米材料制備設備、真空檢測設備;③科學(xué)儀器行業(yè)――同步輻射光束線(xiàn)、電子顯微鏡、分析測試儀器;④醫療設備――牙科儀器、透析機;⑤生物制品行業(yè)――材料提純、藥品制備;⑥包裝行業(yè)――食品、藥品、生物制品等包裝設備。3渦旋無(wú)油真空泵工作原理、技術(shù)指標以及與普通油泵的對比渦旋無(wú)油真空泵的渦旋盤(pán)就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)線(xiàn)螺旋形成一個(gè)渦旋型盤(pán)狀結構。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)組成的一對渦旋盤(pán)付構成了渦旋無(wú)油真空的基本抽氣機構。例如在雙級渦旋無(wú)油真空泵中,有兩個(gè)方向對應的固定渦旋盤(pán),一個(gè)位于兩個(gè)渦旋盤(pán)之間的轉動(dòng)渦旋盤(pán)。動(dòng)、靜渦旋盤(pán)相對運動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。眾所周知,渦旋無(wú)油真空泵(oilfreescrolivacuumpump)與普通油真空泵相比具有顯著(zhù)的特點(diǎn)。下面以普通旋片真空泵為例,說(shuō)明其差別:表1渦旋無(wú)油真空泵與普通直聯(lián)式旋片真空泵技術(shù)指標的對比技術(shù)指標旋片式油真空泵渦旋無(wú)油真空泵抽速(l/s)2.0,4.0,82.0,4.4,8.7極限真空度(pa)0.61.0使用壽命(h)4000040000大修間隔(h)800010000冷卻介質(zhì)油空氣噪聲(db)7560質(zhì)量(kg)7041電機相數31電壓(v)220/380220功率(kw)1.10.6轉數(r/min)140014374渦旋無(wú)油真空泵的優(yōu)點(diǎn)及其能給用戶(hù)解決的問(wèn)題4.1渦旋無(wú)油真空泵性能優(yōu)越渦旋真空泵的主要優(yōu)點(diǎn)是間隙曉、泄漏少,具有較高的壓縮比,在較寬的陋力范圍內有穩定的抽速,工作壓力范圍寬;由于壓縮腔容積的變化市連續的,因而驅動(dòng)扭矩變化小,功率變化小,振動(dòng)噪聲低,可靠性高。這是其它類(lèi)型的干式真空泵所不具備的。4.2渦旋無(wú)油真空泵解決了污染與振動(dòng)等基礎、共性問(wèn)題由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動(dòng)等問(wèn)題給用戶(hù)造成不良