活塞式無(wú)油干式機械真空泵技術(shù)要求不太復雜，容易制造。該泵的外形呈扁方形，是由四個(gè)階梯形活塞及四個(gè)階梯形氣缸組成。與電機直聯(lián)的軸通過(guò)四根連桿帶動(dòng)四個(gè)活塞?；钊谋趁婵臻g由次級活塞抽氣，以減少泄漏和降低極限壓力。每個(gè)氣缸都有進(jìn)氣閥與排氣閥。四個(gè)活塞組成三個(gè)壓縮級，為了增加抽速，兩個(gè)活塞是并聯(lián)的，為了便于泵在大氣壓力下的啟動(dòng)，設置了輔助排氣閥，當活塞的排氣壓力高于大氣壓力時(shí)，有一部分氣體通過(guò)閥排入大氣，當其排氣壓力低于大氣壓力時(shí)，則排出氣體依次進(jìn)入第三個(gè)、第四個(gè)氣缸壓縮后排出泵外。泵的壓縮比可達到105，泵的極限壓力可達1.3Pa。泵氣缸的內表面襯有聚合材料，以降低摩擦系數與磨損。這種泵的功率消耗低，散熱條件較好，不需要冷卻水。