渦輪分子泵抽氣系統的基本操作方法：一個(gè)裝有單獨粗抽管路的渦輪分子泵抽氣系統的操作方法與擴散泵抽氣系統相似。在開(kāi)始粗抽以前，高真空閥和粗抽閥是關(guān)著(zhù)的，而前級管道閥是打開(kāi)的。1、首先關(guān)閉前級閥，啟動(dòng)粗抽泵(兼前級泵)，打開(kāi)粗抽閥開(kāi)始對真空室進(jìn)行抽氣。在真空室內的壓力降到150~100Pa時(shí)關(guān)閉粗抽閥，打開(kāi)前級管道閥，2、再啟動(dòng)渦輪分子泵(需先接通冷卻系統)。如果分子泵入口處裝有液氮冷阱，則應在泵加速到額定轉速后(一般需5~10min)加注液氮。粗抽系統的配置隨真空室的容積的大小而有所不同。對500L/s或更小的渦輪分子泵來(lái)說(shuō)，可采用一臺雙級旋片泵；1000L/s以上的渦輪分子泵則采用以機械泵為前級泵的羅茨泵機組。在壓力為100到150Pa時(shí)關(guān)閉粗抽閥，把真空室切換到渦輪分子泵上。對某些泵，這樣做會(huì )引起輕微而滯后的瞬時(shí)減速，但這對抽氣并無(wú)影響。正如擴散泵抽氣系統那樣，渦輪分子泵系統中的最主要的物質(zhì)是水蒸氣，其抽氣時(shí)間將受液氮冷阱抽速的支配。如果不用液氮冷阱，那么這個(gè)系統抽除水蒸氣的速度就會(huì )比同樣抽速的無(wú)冷阱擴散泵略慢一些。在高真空抽氣過(guò)程的起始階段，泵的很大的未經(jīng)烘烤的內表面會(huì )吸附水，然后再在較低的壓力下重新釋放出來(lái)。這種效應在無(wú)閥門(mén)的系統中更為明顯，因為它可能比未暴露在壓力高于150Pa的空氣環(huán)境的有閥門(mén)的系統吸附更多的水蒸氣。3、系統停機時(shí)，先關(guān)閉高真空閥，如果有液氮冷阱的話(huà)，還要將冷阱加熱。在冷阱達到平衡溫度后，關(guān)掉前級管道閥，再切斷渦輪分子泵電動(dòng)機的電源使分子泵的轉子減速。一般來(lái)說(shuō)，到泵轉子完全停止需要十分鐘或更長(cháng)的時(shí)間。在分子泵轉子減速期間，來(lái)自前級管道的碳氫化合物和渦輪分子泵的潤滑油蒸氣會(huì )迅速地向泵的進(jìn)氣口上方區域擴散。為了防止機械泵油蒸氣和渦輪分子泵潤滑油蒸氣的返流，在切斷渦輪分子泵電動(dòng)機的電源后，要用一股干燥的反向氣流對分子泵進(jìn)行放氣。例如，應該在泵轉子速度下降到最大轉速的50%左右時(shí)，在泵進(jìn)氣口上方的某處或在轉子組件上部連續充入氬氣或氮氣，直到泵內壓力達到大氣壓。通過(guò)從閥門(mén)3(見(jiàn)圖1)充入氣體就可適當地完成這一操作。當渦輪分子泵以額定速度運轉時(shí)，不應經(jīng)常充入壓力為大氣壓的氣流。這樣做對軸的壽命是不利的。當前級管道閥關(guān)閉后，即可關(guān)掉機械泵系統，并用放氣閥對機械泵內進(jìn)行放氣。停機后應立即關(guān)掉冷卻水以防止內部冷凝。在正常工作時(shí)，可把水溫調節到略高于露點(diǎn)來(lái)消除泵體外部可能形成的冷凝物。啟動(dòng)系統要先接通冷卻水流，打開(kāi)前級管道閥門(mén)，再同時(shí)啟動(dòng)機械泵和渦輪分子泵。在泵加速到額定轉速(一般為5到10min)后，就可加注液氮冷阱。此后就可按上節所介紹的步驟對真空室進(jìn)行抽氣。4、下面一種所給出的是不用高真空閥門(mén)的抽氣系統的操作要比有閥門(mén)的抽氣系統簡(jiǎn)便得多。操作時(shí)：先打開(kāi)冷卻水和前級管道閥，并同時(shí)啟動(dòng)機械泵和渦輪分子泵。如粗抽泵選擇得當使真空室的粗抽時(shí)間等于加速時(shí)間，那么真空系統就能在沒(méi)有泵油蒸氣返流的情況下把真空室抽到其本底壓力。5、無(wú)閥門(mén)系統在放氣和停機：1）首先關(guān)閉前級管道閥，等泵轉速下降到最大轉速的50%時(shí)再在泵的上方充入干燥氣體。當系統充到大氣壓時(shí)應關(guān)閉放氣閥門(mén)，否則會(huì )造成真空室過(guò)壓。2）然后按上述介紹的方法關(guān)掉機械泵并停掉冷卻水。沒(méi)有單設粗抽管路的渦輪分子泵系統的操作：先打開(kāi)分子泵冷卻系統和前級管路閥，并同時(shí)啟動(dòng)前級(粗抽)機械泵和渦輪分子泵。如果粗抽泵(前級泵)選擇得當，使真空室的粗抽時(shí)間等于分子泵的加速(啟動(dòng))時(shí)間，則真空系統就能在沒(méi)有泵油蒸汽返流的情況下把真空室抽到其本底壓力。3）該系統在停機前，要先關(guān)閉前級管路閥，然后切斷分子泵電源和關(guān)閉冷卻水。等分子泵轉速下降到額定工作轉速的一半時(shí)，再在泵的入口處充入干燥氣體，當系統充到大氣壓力后，應關(guān)閉放氣閥門(mén)。根據需要在前級閥關(guān)閉后的任何時(shí)候停掉前級泵系統。更多關(guān)鍵詞搜索：泵