#泵#分子泵的設計要點(diǎn)?
時(shí)間:2014-09-09
在復合分子泵的設計中,必須處理好渦輪級與牽引級之間的應配和銜接關(guān)系。由于渦輪級有較大的抽氣面積,抽速很大,而牽引級溝槽抽氣面積較小,在兩種結構的聯(lián)接處,由渦輪葉片壓縮下來(lái)的氣體分子的流動(dòng)方式突然轉變,使氣體分子的運動(dòng)在聯(lián)接處由有序變成無(wú)序,至使返流增加,抽氣能力下降。因此,在設計時(shí)應在渦輪級和牽引級轉換處加上過(guò)渡級結構,以提高泵的抽氣性能。隨著(zhù)復合分子泵的不斷改進(jìn),其應用領(lǐng)域越來(lái)越廣,在某些抽氣系統上可以替代擴散泵,縮短了系統的抽氣時(shí)間,并可獲得無(wú)油污染的清潔真空環(huán)境。
在復合分子泵的設計中,必須處理好渦輪級與牽引級之間的應配和銜接關(guān)系。由于渦輪級有較大的抽氣面積,抽速很大,而牽引級溝槽抽氣面積較小,在兩種結構的聯(lián)接處,由渦輪葉片壓縮下來(lái)的氣體分子的流動(dòng)方式突然轉變,使氣體分子的運動(dòng)在聯(lián)接處由有序變成無(wú)序,至使返流增加,抽氣能力下降。因此,在設計時(shí)應在渦輪級和牽引級轉換處加上過(guò)渡級結構,以提高泵的抽氣性能。隨著(zhù)復合分子泵的不斷改進(jìn),其應用領(lǐng)域越來(lái)越廣,在某些抽氣系統上可以替代擴散泵,縮短了系統的抽氣時(shí)間,并可獲得無(wú)油污染的清潔真空環(huán)境。
30
年研發(fā)經(jīng)驗
Experience
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02
年質(zhì)量保證
Quality
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7000
家成功案例
Case
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70
項專(zhuān)利證書(shū)
Patent
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